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按運動分類型
直線高精度位移傳感器和角度高精度位移傳感器
按材料分類
a.金屬膜高精度位移傳感器b.導電高精度位移傳感器c.光電式高精度位移傳感器d.磁敏式高精度位移傳感器 e.金屬玻璃鈾傳感器f.繞線式高精度位移傳感器g.電位器高精度位移傳感器
廣義分類
A 機械式 B 接近式 電容式，渦流式，霍爾效應式，光電式，熱釋電式，多普勒式，電磁感應式，微波式，超聲波式 C 轉速式 一般有光電式 D 多普勒式 E 液位式 浮子式，平衡浮筒式，壓差電容式，導電式，超聲波式，放射式 F 流量及流量式 電磁式，渦流式，超聲波式，熱導式，激光式，光纖式，浮子式，渦輪式，空間濾波式 G 激光位移式
